מוליך למחצה נירוסטה: 316L VIM-VAR לעומת . 904 l

 

מדוע להמיס ואקום 316L לכלי רקיק?
Vim-var (אינדוקציה של וואקום נמס-קשת נמסה מחדש) מפחיתה תכלילים ל<5 particles/cm² >0 . 3 מיקרומטר. תוכן גז (O₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

מתי צוין 904L לספסלים רטובים?
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 מונע קורוזיה במים אולטרה -ערכיים (התנגדות 18 MΩ · ס"מ) .

 

כיצד טיפולי שטח מונעים זיהום?
אלקטרופולינג מסיר את 10-15 מיקרומטר שכבה קשה בעבודה . הלם לייזר פינון גורם לחץ דחיסה להפחתת נדידת ה- Fe Ion . חישול מימן מפחית את אנרגיית השטח כדי להגביל את הדבקה של חלקיקים {}}}

 

סובלנות קריטית למערכות מסירת גז?
פני השטח הפנימיים RA פחות או שווה ל- 0 . 13 מיקרומטר. שיעור דליפה<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0 . 1 מיקרומטר לכף רגל ליניארית.

 

בדיקת אימות לרכיבי חדר נקי?
ניתוח SEM-EDS למיפוי הכללה . ICP-MS עבור שטיפת יון מתכת (NA⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.